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该设备应用于大型望远镜--1.6米量级主镜镀膜应用的真空镀膜系统。该系统采用该系统采用电阻式蒸发与电子束式蒸发技术。电阻式蒸发源主要用于蒸发金属膜（铝、银、铬等材料），电子束式蒸发源用于蒸发高温氧化物等介质膜。离子束辅助用于改善膜层附着力、降低氧化物吸收和提高环境稳定性。
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