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该设备主要应用于大型天文望远镜主镜镀膜,最大可装载2.6米量级主镜镀制;设备配置四套电子束蒸发源、3套离子辅助沉积源;搭载多功能行星公自传装件机构,配套10吨载荷液压装件小车及工件翻转小车,能实现多种类、多尺寸、多功能性的薄膜制备。
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SXZ1300-1/G箱式真空镀膜系统(电子束蒸发)
真空存储柜
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SJR-C1300-1/D型磁控溅射卷绕镀膜设备
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